Tcad моделирование технологического процесса изготовления кремниевого вертикального моп-транзистора с двойной диффузией
| Вид материала | Документы |
- Анализ заводского технологического процесса, 10.4kb.
- «Разработка технологического процесса изготовления детали «Корпус вибратора», 678.89kb.
- 1. 2 Патентные исследования, 27.99kb.
- Задание на курсовой проект; реферат, 294.21kb.
- Вестник Брянского государственного технического университета. 2008. №2(18), 127.9kb.
- Курсовая работа по дисциплине «Технология приборостроения», 388.53kb.
- Методические указания к выполнению курсовой работы по дисциплине, 379.87kb.
- Міжнародна організація праці, 100.08kb.
- 3 5 Разработка маршрутного технологического процесса, 138.63kb.
- Моделирование и оптимизация технологического процесса отбелки целлюлозы для проектирования, 232.51kb.
УДК 621.382(06) Микроэлектроника
А.В. СЕДОВ, В.О. ТУРИН, А.М. ЦЫРЛОВ1
Орловский государственный технический университет
1Открытое акционерное общество "ПРОТОН", Орёл
TCAD МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВОГО ВЕРТИКАЛЬНОГО
МОП-ТРАНЗИСТОРА С ДВОЙНОЙ ДИФФУЗИЕЙ
Проведено TCAD моделирование методом конечных элементов технологии производства кремниевого вертикального МОП-транзистора с двойной диффузией (Si-VDMOS) использующегося в оптическом реле К249КП5Р. Использование модели прибора с топологией и распределением легирующих примесей, полученными с помощью моделирования технологического процесса, повышает адекватность дальнейшего моделирования электрических характеристик прибора с использованием диффузионно-дрейфовой модели полупроводника. Получено хорошее совпадение результатов моделирования с результатами измерений.